高純氬是一種純度極高的氬氣（Ar），通常純度在99.999%（5N）及以上，廣泛應(yīng)用于對(duì)氣體純度要求嚴(yán)格的領(lǐng)域。以下是關(guān)于高純氬的詳細(xì)介紹：
1. 基本性質(zhì)
化學(xué)符號(hào)：Ar
原子序數(shù)：18
狀態(tài)：無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒的惰性氣體。
密度：比空氣重（密度約1.784 g/L，標(biāo)準(zhǔn)條件下）。
沸點(diǎn)：-185.8°C（87.3 K）。
化學(xué)惰性：幾乎不與其他物質(zhì)反應(yīng)，穩(wěn)定性極強(qiáng)。
2. 純度等級(jí)
普通氬氣：純度99.99%（4N），用于一般工業(yè)用途。
高純氬：純度≥99.999%（5N），雜質(zhì)（如O?、N?、H?O、CO?等）含量極低。
超高純氬：純度≥99.9999%（6N），用于半導(dǎo)體、精密分析等。
3. 生產(chǎn)方法
空氣分離法：通過(guò)低溫精餾液態(tài)空氣提取氬氣，再經(jīng)吸附、催化脫氧等工藝提純。
純化技術(shù)：采用分子篩、鈀催化劑、低溫吸附等方法進(jìn)一步去除雜質(zhì)。
4. 主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：用于晶圓加工、刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）等，防止材料氧化。
光伏產(chǎn)業(yè)：硅片生產(chǎn)中的保護(hù)氣。
分析儀器：作為ICP-MS（電感耦合等離子體質(zhì)譜）、GC（氣相色譜）的載氣。
焊接保護(hù)：TIG焊、MIG焊中防止金屬熔池氧化（尤其不銹鋼、鋁合金）。
照明工業(yè)：填充節(jié)能燈、霓虹燈等。
科研領(lǐng)域：超導(dǎo)體研究、激光技術(shù)等。
5. 儲(chǔ)存與運(yùn)輸
儲(chǔ)存方式：高壓鋼瓶（通常為灰色，標(biāo)有“氬氣”字樣），常溫下保存。
運(yùn)輸規(guī)范：需符合危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸標(biāo)準(zhǔn)，避免撞擊、高溫。
6. 安全注意事項(xiàng)
窒息風(fēng)險(xiǎn)：高濃度氬氣會(huì)置換空氣，導(dǎo)致缺氧，需在通風(fēng)環(huán)境中使用。
壓力風(fēng)險(xiǎn)：高壓鋼瓶需防泄漏，避免直接接觸閥門(mén)。
惰性特性：雖不燃不爆，但可能加劇其他物質(zhì)的燃燒（如鎂、鈦等）。