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產(chǎn)品簡介
日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT
日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT
產(chǎn)品價格：￥·
上架日期：2021-03-05 16:30:49
產(chǎn)地：本地
發(fā)貨地：本地至全國
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
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詳細(xì)說明

    日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT

     

     

    特征

    • 排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進(jìn)入大氣
    • 盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡單型）
    • 全自動濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高
    • 配備涂層/蝕刻模式
     

    應(yīng)用/結(jié)果示例

    • 各種設(shè)備的電極膜附件
    • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
     

    基本規(guī)格

    陰極 φ2英寸/ 2極電極
    濺射靶 包含金靶
    蝕刻目標(biāo) 包括Al目標(biāo)
    膜厚設(shè)定方法 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
    氣體導(dǎo)入機(jī)制 針閥
    真空泵 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動泄漏）
    排氣操作 自動的
    箱體尺寸 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制）
    樣品交換方法 前門開合式
    尺寸（寬/深/高） 主體：225/420 / 320mm 
    RP：300/160 / 200mm
    重量 身體：15公斤
    RP：9公斤
     
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