由于可以精確地霧化和噴射少量液體，因此可以在半導(dǎo)體和電子元件制造過程中通過噴涂形成薄膜。
與其他噴涂系統(tǒng)相比，噴涂易于控制，設(shè)備配置也很簡單。特點(diǎn)是從厚涂層到薄涂層，一個(gè)噴嘴的條件范圍很廣。
由于粒徑分布很銳利，因此適合需要精確度的精確清潔。Atmax噴嘴的沖擊較小，注入流速較慢，因?yàn)殪F化所需的壓縮氣體流量比常規(guī)噴嘴的流量小。
有兩個(gè)主要組成部分。標(biāo)準(zhǔn)噴嘴材料是SUS316L，因?yàn)樗哂蟹浅：唵蔚慕M件結(jié)構(gòu)，但是也可以使用適合使用環(huán)境的材料來制造。此外，在接液部件中沒有使用O形圈。
可以容易地連續(xù)注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化，從小孔口噴射是公認(rèn)的理論，但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴射。
Atmax Nozzle AM型可以準(zhǔn)確地噴出極小流速的液體藥劑，并獲得平均粒徑約為5μm的細(xì)顆粒。它是一個(gè)非常小的噴嘴，可以在20至750瓦的空氣壓縮機(jī)中運(yùn)行。
