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過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用 工欲善其事，必先利其器。當(dāng)代的科技發(fā)展史告訴我們，專用的計算機(jī)輔助設(shè)計工具
(CAD》對于一個行業(yè)的發(fā)展往往起到了巨大的倍增器效應(yīng)，微電子設(shè)計工具(EDA)對微電子
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用行業(yè)發(fā)展的推動作用即是一個典型的案例。EDA工具的出現(xiàn)直接導(dǎo)致了微電子行業(yè)設(shè)計與過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
加工分離的產(chǎn)業(yè)特征，大大促進(jìn)了微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和壯大。當(dāng)前，僅EDA行業(yè)每年的市場
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用總額都在40億美元以上。
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用對于符合MEMS產(chǎn)業(yè)特點設(shè)計工具(MEMSCAD)的追求是MEMS業(yè)界一個長期的奮
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用斗目標(biāo).當(dāng)前，全世界已有幾十種MEMS設(shè)計工具[3-19]。一般可將這些設(shè)計工具分成兩大
類過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用。第一類是集成化設(shè)計工具，為MEMS用戶提供了從系統(tǒng)行為建模與仿真到器件物理分
析，再到版圖設(shè)計和工藝建模仿真等全過程的設(shè)計解決方案，典型的有CoventorWare[33 , In-
blisuite[']和法國的MEMS Pro"'，中過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用國的MEMS Garden[d]等。第二類是MEMS特定功能過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
模塊的設(shè)計工具，其針對MEMS設(shè)計過程中某一階段的設(shè)計需求而開發(fā)，并不提供整套解決
方案。典型的設(shè)計工具包括
MEMS系統(tǒng)級建模與仿真軟件Nodast'], Sugar[e]等;多物理場藕
合建模與仿真軟件Comosol[9]
, Ansys Multiphysics[10]等，工藝版圖編輯軟件L-Editt"], LA-
SI[IY〕等;宏建模軟件AutoMM[z3], ROM[i'], Mor4Ansys[15〕等;工藝模擬軟件
ACES["], Simo-
de("] ,SEGSt18]等.這些分散的軟件模塊已經(jīng)有很多集成在第一類集成設(shè)計工具里。
在這兩類設(shè)計工具里，集成設(shè)計工具提供了完備的MEMS建模與仿真解決方案，符合
