斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣 微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)主要是指通過半導體工藝或其
他微細加工工藝制造的微型機械。其英文縮寫MEMS恰到好處地反映了其主要技術特點。
MEM斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣S一詞中的第一個字母“M"，即Micro，代表這一技術是微型的。MEMS中典型結構的
特征尺寸在微米量級，隨著斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣尺寸的縮小，顯然會降低MEMS系統(tǒng)的功耗，增大其諧振頻率，進
而提高可靠性等。因此，可以說微型化是MEMS技術的一個最顯著的特征。如此微小的結構
當前仍主要通斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣過硅基半導體工藝來進行實現(xiàn)，這也使得MEMS一般都具有批量化生產(chǎn)的優(yōu)
點。而目前快速發(fā)展的非硅工藝，如準分子激光、飛秒激光、電火花加工等手段也可以實現(xiàn)
MEMS技術的斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣微型化，并開始在MEMS領域中占據(jù)越來越重要的地位。MEMS中第二個字
母“E"，即Electro，表明微機電系統(tǒng)是與“電”密不可分的。一方面，MEMS主要是以微型的傳
感器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣或執(zhí)行器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣為主，那么對微弱電信號的拾取與調(diào)理必然是不可缺少的。另一方面，這個“E"
也在某一程度上代表了這項技術是緣于微電子行業(yè)的。第三個字母“M”代表了結構、力學等
與機械相關的東西.最后一個字母“S”代表了MEMS是一個相對完整的系統(tǒng)或子系統(tǒng)，具備
一定的功能，并且該系統(tǒng)還往往可以在硅片上進行機械結構與控制電路的單片集成.
像微電子技術一樣，MEMS技術也是一項使能性技術(Enabling Technology)，加上
MEMS器件本身所具有的微型化、低功耗、高集成度等優(yōu)點，其已經(jīng)在航空、航天、汽車、醫(yī)療
器械、消費電子等諸多領域都找到了很好的結合點.目前，全世界已經(jīng)有超過130種的
MEMS器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣件[[1]，其中打印機噴頭、微加速度計、微陀螺、微麥克風和數(shù)字微鏡均已經(jīng)實現(xiàn)了大
規(guī)模的批量生產(chǎn)，銷售額每年超過80億美元(見圖1 -1)。根據(jù)Yole公司的市場預測，僅基于
硅M斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣EMS技術的MEMS市場在2010年就將超過100億美元。
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