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產(chǎn)品簡介

愛發(fā)科ULVAC干法去膠機(jī)Ashing System

產(chǎn)品價(jià)格：￥0

上架日期：2017-08-02 10:35:20

產(chǎn)地：日本

發(fā)貨地：上海

供應(yīng)數(shù)量：不限

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詳細(xì)說明

應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

設(shè)備特點(diǎn)：

一體化設(shè)計(jì)，可對(duì)應(yīng)各種晶圓尺寸＆不同尺寸晶圓混合搬送

對(duì)應(yīng)工藝范圍廣：從下一代有機(jī)膜工藝到氧化膜/SiN的刻蝕

利用微波電源，低溫工藝，實(shí)現(xiàn)無損傷工藝

維護(hù)保養(yǎng)周期長：6個(gè)月（實(shí)際值）

易于維護(hù)和工藝腔清洗時(shí)間短（30分鐘）

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企業(yè)信息

上海瞻馳光電科技有限公司

會(huì)員級(jí)別：

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聯(lián)系人：王曉玉（小姐）

聯(lián)系電話：021-58210030

聯(lián)系手機(jī)：15300099033

傳真號(hào)碼：021-58600110

企業(yè)郵箱：Jade.wang@yoshi.co.jp

網(wǎng)址：prosrun2015.jdzj.com

郵編：201619

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