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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

愛(ài)發(fā)科高真空鍍膜機(jī)、蒸發(fā)臺(tái) ULVACEvaporation Sy

產(chǎn)品價(jià)格：￥0

上架日期：2017-08-02 10:31:51

產(chǎn)地：日本

發(fā)貨地：上海

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詳細(xì)說(shuō)明

應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

設(shè)備特點(diǎn)：本設(shè)備是用于在半導(dǎo)體或特種材料基板上進(jìn)行金屬、ITO等材料蒸鍍的批處理式高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。

可通過(guò)觸摸屏進(jìn)行集中操作控制，自動(dòng)完成從真空排氣至鍍膜的所有過(guò)程。適用于半導(dǎo)體、LED、電力電子等行業(yè)芯片的科研及小批量生產(chǎn)。

？可搭載多種蒸發(fā)源（EB，RH，EB＋RH　等）

？可搭載多種夾具，對(duì)應(yīng)不同工藝（lift-off，planetary，sablite　等）

？可搭載多種基板；基板尺寸從2寸到6寸，材料為硅，玻璃等

？可通過(guò)　LCD　觸摸屏進(jìn)行操作

？PC控制系統(tǒng)以及各種功能（工藝參數(shù)，記錄數(shù)據(jù)，維護(hù)保養(yǎng)）

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