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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ADT晶圓劃片清洗機(jī)WCS-977

產(chǎn)品價(jià)格：￥1

上架日期：2017-08-01 12:32:16

產(chǎn)地：日本

發(fā)貨地：上海

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詳細(xì)說(shuō)明

品牌：ADT

型號(hào)：WCS-977
主要功能：用于晶圓劃片后芯片表面殘留物的清洗，避免表面沾污、微粒影響后繼封裝工藝。
應(yīng)用領(lǐng)域：芯片切割最大支持8寸晶圓，該設(shè)備為劃片工藝后之晶圓連同繃框置于旋轉(zhuǎn)的吸盤上面，藉真空吸盤吸住晶圓。吸盤下方為變頻馬達(dá)用于清洗、吹干及旋干時(shí)之轉(zhuǎn)動(dòng)。利用步進(jìn)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)二流體噴嘴及噴氣嘴，借以噴灑清洗劑及清除切屑、雜質(zhì)及吹干水份。

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上海瞻馳光電科技有限公司

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