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產(chǎn)品簡介

ENGIS化合物材料研磨機InP GaAs GaN

產(chǎn)品價格：￥1

上架日期：2017-08-01 12:29:13

產(chǎn)地：日本

發(fā)貨地：上海

供應數(shù)量：不限

最少起訂：11

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詳細說明

品牌：engis型號：

可用于2寸3寸4寸InP　GaAs　GaN

所屬系列：半導體加工設(shè)備-減薄拋光設(shè)備-研磨機

操作界面人性化，人機交流非常簡易

使用大粒徑研磨液將Wafer快速減薄

可以精確控制Wafer目標厚度，將Wafer減薄至接近目標厚度時，借助厚度控制夾具Wafer將懸空丌再被研磨，可以雙頭、單片、多片加工，適合研發(fā)、量產(chǎn)，可兼容多尺寸Wafer

設(shè)備的設(shè)計理念及特征

搭載開槽裝置的超高精密研磨設(shè)備EJW-400IFN　是采用高剛性機體和獨自開發(fā)的水冷式主

軸，經(jīng)常保持一定的定盤溫度，并且可以在超低震動狀態(tài)下高精度旋轉(zhuǎn)。另外，由于采用

高精度的開槽裝置，設(shè)備可以經(jīng)常維持穩(wěn)定高精度的定盤平坦度進行加工。

主要規(guī)格：

1-1研磨設(shè)備

設(shè)備型號EJW-400IFN

研磨盤直徑外徑φ380mm；內(nèi)徑φ140mm

定盤轉(zhuǎn)速10~350rpm　可調(diào)（軟起動/停機）

主電機200V　1.5Kw　3相

加壓方式自重加壓

工件固定方式通過使用陶瓷修正輪用滾軸手臂固定

主軸部分高剛性水冷主軸

尺寸940mm×1600mm×1460mmH*含防塵蓋高度

重量1000Kg（NET）

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上海瞻馳光電科技有限公司

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