涂層的PVD技術(shù):
增強(qiáng)型磁控陰極?。宏帢O弧技術(shù)是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積。增強(qiáng)型磁控陰極弧利用電磁場的共同作用,將靶材表面的電弧加以有效的控質(zhì),使材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
過濾陰極?。哼^濾陰極?。?/span>FCA)配有高效的電磁過濾系統(tǒng),可將離子源產(chǎn)生等離子體中的宏觀粒子,離子團(tuán)過濾干凈,經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%,并且可以過濾掉大顆粒,因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。
磁控濺射:在真空環(huán)境下,通過低電壓和磁場的共同作用,以被離化的惰性氣體離子對靶材進(jìn)行轟擊,致使靶材以離子,原子或分子的形式被彈出并沉積在基材上形成薄膜。根據(jù)使用的電力電源的不同,導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料均可作為靶材被濺射。
離子束DLC:碳?xì)錃怏w在離子源中被離化成等離子體,在電磁場的作用下,離子源釋放出碳離子。離子束能量通過調(diào)整在上的電壓控制,碳?xì)潆x子束被引到基材上,沉積速度與離子電流密度成正比。德耐涂層的離子束采用高電壓,因而離子能量更大,使得薄膜與基片結(jié)合力很好,離子電流更大,使得DLC膜的沉積速度更快。離子束技術(shù)的主要優(yōu)點在于可沉積薄膜以及多層結(jié)構(gòu),工藝控制精度可達(dá)0.5微米,并可將工藝過程中的顆粒污染所帶來的缺陷降至最小。
真空膜的特點:
能在金屬,半導(dǎo)體,絕緣體甚至塑料,紙張,織物表面上沉積金屬,半導(dǎo)體,絕緣體,不同成分比的合金,化合物及部分有機(jī)聚合物等的薄膜,其適用范圍之廣是其他方法無法與之比擬的;可以不同的沉積速度,不同于基板溫度和不同的蒸汽分子入射角蒸鍍成膜,因而可得到不同顯激結(jié)構(gòu)和結(jié)晶形態(tài)(單晶,多晶或非晶體等)的薄膜;
薄膜的純度很高;
易于在線檢測和控制薄膜的厚度與成分。厚度控制精度最高可達(dá)單分子層量級;
排出污染物很少且基本上沒有。