目前主要使用凈化車間潔凈技術的行業(yè)有電子產(chǎn)業(yè)，制藥行業(yè)，醫(yī)院手術室，食品罐裝行業(yè)，高端化妝品制造，生物實驗室，精密醫(yī)療器械產(chǎn)品的生產(chǎn)制造，以及高端精密零部件的生產(chǎn)等等。在我國，電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。電子產(chǎn)品行業(yè)需求大且發(fā)展迅速，因此電子廠凈化車間的建設尤為必要。
根據(jù)電子廠凈化車間空氣循環(huán)特點可以將凈化車間分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風機過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。種形式在小規(guī)模低等級要求的電子廠凈化車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的電子廠凈化車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。第二種形式的設計可以滿足集成電路制造電子廠凈化車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且電子廠凈化車間風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設計方案。
電子廠凈化車間FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。
潔凈系統(tǒng)設計突出節(jié)能理念，好的電子廠凈化車間設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，FFU循環(huán)系統(tǒng)運行成本，潔凈度安全性，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則電子廠凈化車間投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)(比如潔凈隧道和微環(huán)境)是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。隨著集成電路制造技術的不斷升級，主流大廠已經(jīng)進入了納米時代，集成電路制造凈化車間的設計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。
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