高精度：由于線性滑軌移動(dòng)時(shí)、摩擦力非常小，屬于滾動(dòng)摩擦、故只需極小的動(dòng)力即可驅(qū)動(dòng)床臺(tái)、因?yàn)槟Σ亮π。室蚰Σ了a(chǎn)生的熱極小，相較于傳統(tǒng)的滑動(dòng)方式、可大幅降低運(yùn)行軌道接觸面的磨損，故可長(zhǎng)時(shí)間維持高定位精度與行走精度、低磨損。
高剛性：由于滑軌與軌道采用四方向等負(fù)荷設(shè)計(jì)，故對(duì)于來自于各方向之負(fù)荷、都須具有足夠的抵抗強(qiáng)度、且具備自動(dòng)調(diào)心之能力、可允許較大的安裝誤差、使加工較容易，并可施予足夠的預(yù)壓量，已獲得高剛性。
保養(yǎng)維護(hù)容易：相較于傳統(tǒng)的滑動(dòng)系統(tǒng)，均有對(duì)于運(yùn)行的軌道面進(jìn)行鏟花或研磨的動(dòng)作，因滑動(dòng)所產(chǎn)生的磨耗、往往使得機(jī)臺(tái)一段時(shí)間就必須重新鏟花或研磨，曠日費(fèi)時(shí)、且成本極高、若進(jìn)行更換或維修極可回復(fù)機(jī)臺(tái)之行走精度。