一、人流。首先是人員凈化;電子廠凈化車(chē)間入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室;單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門(mén);空氣吹淋室的進(jìn)、出門(mén)不得同時(shí)開(kāi)啟，應(yīng)采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。
二、物流。電子廠凈化車(chē)間內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施;物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
三、靜壓差。不同等級(jí)的電子廠凈化車(chē)間之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
四、凈化原理。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入電子廠凈化車(chē)間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化。重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化車(chē)間目的。
五、結(jié)構(gòu)材料：1.電子廠凈化車(chē)間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。2.地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹(shù)脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
六、凈化參數(shù)：1.換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。2.壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s。3.溫度冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。4.濕度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子廠凈化車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
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