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等離子凈化器又稱【低溫等離子廢氣凈化器】，本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激發(fā)區(qū)
本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)有效作用于被處理空間，由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預激發(fā)能。由于微波的預激功能，極大的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優(yōu)越。
2：低溫等離子體激發(fā)
本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術，從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，大限度地在無極管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種。
3：極板區(qū)
根據(jù)被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區(qū)由于負壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。

根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。