RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀 衡鵬供應(yīng)
RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀
基于JIS R-3255標準，以MICRO SCRATCH法評價光學薄膜、半導(dǎo)體擴散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強度）的超薄膜附著強度測試儀。為成膜研究與測試所必備的測試設(shè)備。
CSR-5000超薄膜附著強度測試儀特點：
·CSR-5000采用高感度的能夠檢測出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測試納米級別的薄膜的附著強度。
·可測量膜厚μm以下的超薄膜的密著強度。
·加熱環(huán)境下評價可能。
·鏡片等曲面測量可能。
·可以進行以特定荷重來評價的特定負荷測試
·測試部位的設(shè)定以及測試后的劃傷觀察等簡單易行
·測試不需要花費很多時間(1次測試約1～2分鐘)
RHESCA超薄膜附著強度測試儀CSR-5000規(guī)格
荷重檢出機構(gòu) 荷重印加范圍 1mN ～1500mN
荷重分解能 0.3mN
允許過負荷 300%FS
剝離檢出（垂直方向） 檢出信號 加速度信號
頻率范圍 20Hz ～10kHz
摩擦力檢出（水平方向） 檢出信號 速度信號
頻率范圍 20Hz ～10kHz
傳感器勵振機構(gòu) 勵振頻率 45Hz
勵振振幅 0·5·10·20·40·50·80·100μm
探針 觸針形狀 Φ1.6×6.5mm
尖端材質(zhì) / 尖端形狀 金剛石R 5?10?15?25?50?100μm
尖端材質(zhì) / 尖端形狀 藍寶石R 250?500μm
Z 軸驅(qū)動機構(gòu)
※荷重印加方向 驅(qū)動方式 步進馬達驅(qū)動
驅(qū)動范圍 20mm
驅(qū)動分解能 0.5μm
驅(qū)動速度( 測試時) 0 ～20μm/s
驅(qū)動速度( 準備時) 1mm/s
試料臺XY軸移動機構(gòu) 驅(qū)動方式 千分尺手動調(diào)節(jié)
移動范圍 ±6.5mm
Data輸出方式 USB
尺寸及重量 W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡
電源 AC100V ～240V
了解更多：http://www.hapoin.com/pulltester/csr-5000.htm
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