Physik InstrumenteP-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺
P-518 ? P-528 ? P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺
高動態(tài)，帶大通光孔徑
P-518 ? P-528 ? P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺
§ 三軸Z向和偏擺平臺 / 單軸Z向位移臺
§ 垂直偏擺角達(dá)200微米/2毫弧度，閉環(huán) （開環(huán)達(dá)240 微米/2.4 毫弧度）
§ 并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度
§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米
§ 電容式傳感器帶來線性度
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 計量
§ 干涉測量
§ 光子學(xué)/集成光學(xué)
§ 平版印刷術(shù)
§ 納米定位
§ 掃描顯微鏡
§ 樣本對準(zhǔn)
§ 微加工
訂購信息
P-558.ZCD
精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-558.ZCL
精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器
P-518.ZCD
精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-518.ZCL
精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器
P-528.ZCD
精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-528.ZCL
精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器
P-558.TCD
精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，50微米，0.6毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-518.TCD
精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，100微米，1.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-528.TCD
精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，200微米，2.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器
