凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能?？刂飘a(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使有限產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。
復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M(jìn)步至10級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項(xiàng)長處：A.彈性擴(kuò)充輕易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和工作人員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量送風(fēng)即可得到良好潔凈度，可節(jié)省能源。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進(jìn)步為10~1000級以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
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