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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本SIMCO超級(jí)清潔架獨(dú)立安裝型號(hào)5225S AeroBar
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上架日期:2018-06-22 11:41:18
產(chǎn)地:日本
發(fā)貨地:本地至全國(guó)
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說(shuō)明

    5225型Aerober離子發(fā)生器是一款棒狀離子發(fā)生器,專門設(shè)計(jì)用于超凈化工藝設(shè)備,如半導(dǎo)體。

    單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有無(wú)與倫比的采用記錄,避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)
    采用脈沖直流法的廣泛的靜電消除能力
    全數(shù)字電路控制,更穩(wěn)定的離子生成和長(zhǎng)離子平衡
    通過(guò)安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標(biāo)(可選),而不是離子發(fā)生器條體,當(dāng)在中和目標(biāo)的反饋控制可能的附近的離子平衡(5200-SR未連接,電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動(dòng)調(diào)整)
    設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
    各種參數(shù)如離子發(fā)生輸出,離子發(fā)生時(shí)間,報(bào)警閾值等可以設(shè)置在一個(gè)很寬的范圍內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)靈活的對(duì)應(yīng),如長(zhǎng)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
    只需輸入?yún)?shù)的數(shù)值即可獲得高重復(fù)性,并且可以在短時(shí)間內(nèi)完成設(shè)置
    除了簡(jiǎn)單的IO報(bào)警外,還可以通過(guò)免費(fèi)的DLL進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控,有助于掌握工藝設(shè)備的狀態(tài)
    尺寸高度53mm×深度31mm×長(zhǎng)度569mm(-22),721mm(-28),907mm(-36),1128mm(-44),1412mm(-56),1636mm(-64),1918毫米(-76)和2144毫米(-84)
    重量 - 22:1.02公斤/0.17公斤/ 30厘米每增加長(zhǎng)度
    外部ABS樹(shù)脂


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