5225型Aerober離子發(fā)生器是一款棒狀離子發(fā)生器，專門設(shè)計(jì)用于超凈化工藝設(shè)備，如半導(dǎo)體。
單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有無與倫比的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)
采用脈沖直流法的廣泛的靜電消除能力
全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子生成和長(zhǎng)離子平衡
通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標(biāo)（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當(dāng)在中和目標(biāo)的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動(dòng)調(diào)整）
設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
各種參數(shù)如離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時(shí)間，報(bào)警閾值等可以設(shè)置在一個(gè)很寬的范圍內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)靈活的對(duì)應(yīng)，如長(zhǎng)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
只需輸入?yún)?shù)的數(shù)值即可獲得高重復(fù)性，并且可以在短時(shí)間內(nèi)完成設(shè)置
除了簡(jiǎn)單的IO報(bào)警外，還可以通過免費(fèi)的DLL進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，有助于掌握工藝設(shè)備的狀態(tài)
尺寸高度53mm×深度31mm×長(zhǎng)度569mm（-22），721mm（-28），907mm（-36），1128mm（-44），1412mm（-56），1636mm（-64），1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
重量 - 22：1.02公斤/0.17公斤/ 30厘米每增加長(zhǎng)度
外部ABS樹脂