適用于高真空、低真空做截止閥。其型號有:ZK-30-1、ZK-30-2、ZK-50-1、ZK-50-2、ZK-80-1、
ZK-30WA-1、ZK-40WA-1、ZK-50WA-1。其中型號中標(biāo)志有-1的為高真空閥門;標(biāo)志有-2的為超高真空閥門;標(biāo)志有 WA的為帶真空規(guī)管裝置的高真空閥門。 本系列產(chǎn)品重復(fù)使用密封的可靠性高、操作方便,閥門
的通導(dǎo)能力能適應(yīng)排氣工藝的要求。
閥頭結(jié)構(gòu)形式有兩種:凡是高真空閥門的閥頭,采用聚四氟乙烯,密封可靠,放氣量小,使用溫度小于 120℃。而超高真空閥門的密封部位采用全金屬密封,閥頭材料為銅質(zhì)(T 2 或 Tu 1 )烘烤溫度在 300℃以下使用,工作可靠,重復(fù)性好。
帶真空規(guī)管的高真空閥門,規(guī)管為可拆卸式,帶自動密封裝置,在更換規(guī)管時,大氣不會進(jìn)入被抽容器,從而保持了原有的真空度。它既可以在被抽容器和真空系統(tǒng)之間作真空閥門使用,也可以外接真空計測量被抽容器真空度。