高達140 l / min?高達37 gpm
在UPW的微電子世界壓力變化中，去離子水和化學品供應線可能成為工具和流程的問題。越來越多的復雜制造需要高度恒定的入口壓力，以保持敏感的內(nèi)部工具操作在預期的工藝窗口內(nèi)。因此，任何壓力波動都可能降低工藝產(chǎn)量。
基于不斷增加的成本，壓力水系統(tǒng)和化學品供應系統(tǒng)經(jīng)常被設計成其極限。因此，我們發(fā)現(xiàn)不穩(wěn)定的介質(zhì)供應系統(tǒng)，系統(tǒng)和流程無法控制 - LEVIBOOST?保證穩(wěn)定和準確的使用點壓力，無需額外的基礎設施投資。
無源設計組件，如壓力調(diào)節(jié)閥，往往會在一定程度上協(xié)調(diào)壓力波動，但是，它們會導致額外的壓力損失和不希望的顆粒脫落 - LEVIBOOST?提供恒定的系統(tǒng)壓力至±1.5psi（0.1bar），最高10,000倍的顆粒脫落行為。
帶泵頭和冷卻模塊的Levitronix電機（可選）
用于動態(tài)流量控制的Levitronix泵控制器
壓力傳感器
提供實際的輸出壓力數(shù)據(jù)
用戶界面
啟動，停止，設置壓力，顯示設置和實際壓力
系統(tǒng)狀態(tài)
激活：系統(tǒng)在控制循環(huán)中失效
系統(tǒng)警告
激活：泵正在運行，但系統(tǒng)需要注意
系統(tǒng)錯誤
活動：基于系統(tǒng)錯誤，泵未運行
