控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣前提如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。
層流式空氣氣流運動成一平均之直線型,空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴峻。長處:構造簡樸,運轉后短時間內即可變成不亂。缺點:建造用度比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作職員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。長處:治理輕易,運轉開始短時間內即可達不亂狀態(tài),不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。缺點:構造用度較高,彈性運用空間難題,天花板之吊架相稱占空間,維修更換過濾器較麻煩。
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