光氧凈化設備依靠高強紫外線，其中154nm-185nm波長在系列光譜中使占比例高達14%，紫外線劑量大于65mw/cm2，光子能量大于1000kJ/mol，是當前工業(yè)UV/O3紫外燈中劑量和能量最大的紫外線，迅速氧化鍵能小于380kJ/mol的污染物，無極燈紫外線光解氧氣產(chǎn)生臭氧，臭氧濃度15g-75g/h，臭氧能快速氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據(jù)污染物的濃度以及后續(xù)反應時間設定。
廢氣的光解催化氧化機理包括兩個過程：一是在產(chǎn)生高能離子群體的過程中，一定數(shù)量的有害氣體分子受高能作用，本身分解成單質(zhì)或轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的離子群體，與大分子氣體（如苯、甲苯等）作用，打開了其分子內(nèi)部的化學鍵，轉(zhuǎn)化為無害的小分子物質(zhì)。新生態(tài)的氧離子具有很強的氧化性，它能有效的氧化分解不受負離子作用控制的有機物。和廢氣反應后多余的氧離子（正），能與氧離子（負）很快結(jié)合成中性氧，因而不會更多地對設備及環(huán)境造成不利影響
光氧凈化技術(shù)性能
低溫深度反應：
光催化氧化可在常溫下將空氣、水和土壤中有機污染物完全氧化成無毒無害的物質(zhì)。而傳統(tǒng)的高溫焚燒技術(shù)則需要在極高的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規(guī)的催化氧化方法亦需要幾百度的高溫。
凈化徹底：
它直接將空氣中的有機污染物，完全氧化成無毒無害的物質(zhì)，不留任何二次污染，目前廣泛采用的活性炭吸附法不分解污染物，只是將污染源轉(zhuǎn)移。
綠色能源：
光催化可利用太陽光作為能源來活化光催化劑，驅(qū)動氧化—還原反應，而且光催化劑在反應過程中并不消耗。從能源角度而言，這一特征使光催化技術(shù)更具魅力。
