MEMS 煙霧氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
傳感器特點
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅固，對煙霧、C3H8靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點。
主要應(yīng)用
廣泛適用于家庭用煙霧報警器、工業(yè)用煙霧報警器以及便攜式煙霧檢測儀器。
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號 | GM-202B | ||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS煙霧氣體傳感器 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測氣體 | 煙霧、C3H8 | ||
| 檢測濃度 | 10～5000ppm(C3H8) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | VC | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 2.5V±0.1V AC or DC | |
| 負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤50mW | |
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敏感體 電 阻 |
RS | 1KΩ～30KΩ(in 50ppm C3H8) | |
| 靈敏度 | S | Rs(in air)/Rs(in 50ppmC3H8)≥1.5 | |
| 濃度斜率 | α | ≤0.6(R100ppm/R30ppmC3H8) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 |
VC:2.5V±0.1V； VH :5.0V±0.1V |
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| 預(yù)熱時間 |
不少于48小時 |
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詳細(xì)了解：http://www.winsensor.com/products/MEMS/GM_202Bywqtcgq_789.html
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