MEMS 可燃?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測(cè)氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
檢測(cè)氣體種類(lèi)
（CH4）： 1 – 10000ppm
（C3H8)：1-5000ppm
傳感器特點(diǎn)
主要應(yīng)用
