Parker派克減壓閥、超高純減壓閥、微型超精密減壓閥-派克儀表總代理
Parker減壓閥是針對半導(dǎo)體流程工藝的精確控制和高性能要求而開發(fā)的產(chǎn)品，它針對超
高純氣體流通環(huán)境的要求以及特種氣體的特性進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。
①. 超高純減壓閥表面安裝集成模塊（IGS ）系列：
? 1 1? "&1 1?8"SEMI 模塊化接口設(shè)計(jì)
? 表面光潔度為 Ra
? 無螺紋/彈簧設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hasbloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
②. 微型超精密減壓閥
? 最優(yōu)化的設(shè)計(jì)使流道、內(nèi)腔與介質(zhì)的接觸面積最小
? 表面光潔度為 Ra
? 無彈簧/螺紋設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hasbloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
③.超高純減壓閥SQ系列
? 終端（POU ）減壓閥
? 無彈簧/螺紋設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hasbloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
④. Quantum系列：
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
? 內(nèi)腔無螺紋設(shè)計(jì)
? 膜片與閥體間采用金屬密封
? 標(biāo)準(zhǔn)Cv值0 . 04；Cv值0 . 可選
? 兩級減壓可選
