低溫等離子體分解油霧，廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子(原子)的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)，理解，電離等一系列過程使污染介質(zhì)中化學鍵結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學反映，這主要取絕育等離子的平均能量，離子密度，氣體溫度，污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。
