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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)積速沉膜
CVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)積速沉膜
產(chǎn)品價(jià)格:¥888888
上架日期:2017-12-04 08:59:25
產(chǎn)地:蘇州
發(fā)貨地:昆山
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明

    PECVD產(chǎn)品簡(jiǎn)介

     此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)

    主要功能和特點(diǎn):

    1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;

    2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;

    3、可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率;

    4、能廣泛用于:石墨烯、SiOxSiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。

     

     

    滑軌管式爐技術(shù)參數(shù)

     

     

     

     

    石英管尺寸

    L1400mm  Φ(60、80、100)

    加熱元件

    摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

    測(cè)溫元件

    K型熱電偶

    加熱區(qū)長(zhǎng)度

    400mm  

    恒溫區(qū)長(zhǎng)度

    200mm

    工作溫度

    ≤1100℃

    控溫模式

    模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

    控溫精度

    ±1℃

    升溫速率

    ≤20℃/min

    電功率

    AC220V/50HZ/3KW

    質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

     

     

     

     

     

    外形尺寸

    600x600x600mm

    標(biāo)準(zhǔn)量程

    50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(ArN2;

    壓力表測(cè)量范圍

    -0.1Mpa~0.15Mpa

    極限壓力

    3MPa

    針閥

    316不銹鋼

    截止閥

    Φ6mm 316不銹鋼針閥

    電功率

    AC220V/50HZ/20W

    響應(yīng)時(shí)間

    氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

    準(zhǔn)確度

    ±1.5%

    線性

    ±0.5~1.5%

    重復(fù)精度

    ±0.2%

    接口

    Φ6,1/4''

    真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

     

     

     

     

     

    外型尺寸

    600×600×600mm

    工作電電壓

    220V±10%  50~60HZ

    功率

    400W

    抽氣速率

    4L\s

    極限真空

    4X10-2Pa

    實(shí)驗(yàn)真空度

    1.0X10-1Pa

    容油量

    1.1L

    進(jìn)氣口口徑

    KF25

    排氣口口徑

    KF25

    轉(zhuǎn)速

    1450rpm

    射頻電源

     

    信號(hào)頻率

    13.56 MHz±0.005%

    功率輸出范圍

    3W-300W   5W-500W可選

    最大反射功率

    200W

    射頻輸出接口

    50 Ω, N-type, female

    功率穩(wěn)定度

    ±0.1%

    諧波分量

    ≤-50dbc

    供電電壓

    單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

    整機(jī)效率

    >=70%

    功率因素

    >=90%

    冷卻方式

    強(qiáng)制風(fēng)冷

     

                                                                                                   聯(lián)系人:袁17327078231

                                                                                                        QQ:2913014075

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