直線光柵
RG2/RG4
RG2和RG4是最常用的雷尼紹增量式光柵
即使在大多數(shù)開放式直線光柵都不適用的條件下,也能提供高度可靠的位置反饋
概述
RG2和RG4是最常用的雷尼紹光柵,即使在大多數(shù)開放式直線光柵都不適用的條件下,也能提供高度可靠的位置反饋。
RG2讀數(shù)頭系列包括RGH22、小型RGH24和超小型RGH25。這三款讀數(shù)頭都具有光學(xué)濾波系統(tǒng),可讀取20 μm柵距的鍍金鋼帶柵尺,分辨率達(dá)5 nm。許多世界領(lǐng)先的線性運(yùn)動(dòng)原始制造商都將這些產(chǎn)品作為標(biāo)準(zhǔn)配置安裝。此外,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、機(jī)床、PV、半導(dǎo)體和FPD制造領(lǐng)域。
RG4讀數(shù)頭也使用光學(xué)濾波系統(tǒng),讀取40 μm柵距柵尺,具有更加寬松的安裝公差和更高的速度。還提供RGH34緊湊型讀數(shù)頭和鋼帶柵尺選項(xiàng)。
RG2 20 μm柵距系列
RG2是開放式的非接觸直線光柵系統(tǒng),能夠消除摩擦和磨損,可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。RG2具有獨(dú)創(chuàng)的20 μm柵距,確保了在大多數(shù)開放式直線光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性。
提供20 μm模擬信號(hào)周期,或從5 μm到5 nm的數(shù)字信號(hào)分辨率。所有RG2直線光柵系統(tǒng)均配有獨(dú)創(chuàng)的集成LED安裝指示燈,如果安裝正確則亮綠燈。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開關(guān)。參考零位提供可重復(fù)的起始位置或零點(diǎn),而限位開關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。RGH22具有雙限位開關(guān)選項(xiàng),在行程的兩端提供各自的信號(hào)輸出。
紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面,然后通過透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì)很多條紋進(jìn)行均分的技術(shù),有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下,也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。
熱膨脹特性往往是決定總體測(cè)量精度的重要因素。RGS20-S鋼帶柵尺在端部緊固,因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致,無需對(duì)不同的膨脹系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。
獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差,周期誤差(即電子細(xì)分誤差)通常小于±0.15 μm。線性誤差特性為每60 mm ±0.75 μm,或任意每米±3 μm。
RG2具有可靠耐用的光柵尺、優(yōu)異的測(cè)量性能,并且可根據(jù)用戶需要剪至任意長(zhǎng)度。RGS20-S鍍金鋼帶柵尺表面涂漆,不像傳統(tǒng)光柵尺那樣要求小心操作和清潔。背面自帶不干膠,安裝簡(jiǎn)單快捷;對(duì)于各種型號(hào)的讀數(shù)頭,有不同的安裝工具可供選擇。將參考零位、限位開關(guān)和端壓塊粘到相應(yīng)的位置,即可完成安裝。
RG2 40 μm柵距系列
RG4開放式非接觸直線光柵系統(tǒng),能夠消除摩擦和磨損,可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。40 μm柵距使柵尺具有更高的工作速度和更寬松的安裝公差。此外,RG4系統(tǒng)能夠讀取更多類型柵尺的讀數(shù)。
RG4直線光柵讀數(shù)頭提供40 μm模擬信號(hào)周期,或從10 μm到50 nm的數(shù)字信號(hào)分辨率。RGH34為超小型讀數(shù)頭,而RGH40和RGH41為完全封裝式讀數(shù)頭。所有系統(tǒng)均配有獨(dú)創(chuàng)的集成LED安裝指示燈,如果安裝正確則亮綠燈。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開關(guān),RGH40與RGH41具有雙限位。參考零位提供可重復(fù)的起始位置或零點(diǎn),而限位開關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。
紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面,然后通過透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。RG4使用的光學(xué)原理基本與RG2相同,不同之處在于,紅外發(fā)光二極管發(fā)出的光是從與光柵尺刻劃面成90°角反射到柵尺方向,而不是平行反射。該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì)很多條紋進(jìn)行均分的技術(shù),有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下,也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。
RG4系列光柵的工作原理允許使用多種類型柵尺。RGH41和RGH34讀數(shù)頭與RGS40-S鋼帶柵尺配用。該柵尺可根據(jù)用戶需要進(jìn)行裁剪,其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致。柵尺表面涂漆,進(jìn)行操作和清潔時(shí),不需要像操作傳統(tǒng)光柵尺那樣小心;柵尺背面自帶不干膠,安裝簡(jiǎn)單快捷。獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差,周期誤差(即電子細(xì)分誤差)通常小于±0.25 μm。RGS40-S柵尺的線性誤差特性僅為每60 mm 1 μm,任意長(zhǎng)度時(shí)精度均優(yōu)于±3 μm。
RGH40和RGH34讀數(shù)頭與RGS40-G鉻合金玻璃柵尺配用,長(zhǎng)度達(dá)1 m。在只需使用基準(zhǔn)夾具和機(jī)械夾具或背面自帶的不干膠直接將柵尺安裝到基體上的應(yīng)用場(chǎng)合,RGS40-G是理想的選擇。RGH40和RGH34還與40 μm RESR圓光柵配用,多功能RG4讀數(shù)頭可用在定制的供OEM專業(yè)應(yīng)用的反射式刻劃光柵上。
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