FCP270
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第一代激光三角測厚儀的誤差分析
1、 上面的厚度公式中我們假設(shè)z是恒定的，則，在靜止?fàn)顟B(tài)下系統(tǒng)誤差就是上下測頭的測量誤差，我們令其表達式為：
2、 實際上，在高精度測量時，z并不是恒定的，因為，上下測頭是裝在U形支架上，而隨著溫度的變化，U形支架是會變形的，掃描寬度越寬其變形量就越大，所以，其在靜止?fàn)顟B(tài)下的誤差表達式應(yīng)為：
，見下圖示，
當(dāng)溫度變化時。
一三六五二三一 一六零一（謝）
1）假若U形支架的上臂向上變形一微米，下臂向下變形一微米，則，
2）假若U形支架的上臂向下變形一微米，下臂向上變形一微米，則，
3）假若U形支架的上臂向上變形一微米，下臂向上變形一微米，則，
4）假若U形支架的上臂向下變形一微米，下臂向上變形一微米，則，
5） 假若U形支架的上下臂向其它方向變形，則，誤差比較復(fù)雜。
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