東虹鑫Wafer Frame Cassette的整體選用進口6061鋁型材經(jīng)過CNC精密加工而成,精度高達±0.01mm,然后把精密加工好的配件進行表面氧化處理使其表面光滑無毛刺,存放晶圓片的時候不會卡料,組裝好的成品晶圓框架,完美符合目前市場上主流設備的使用。
2"Wafer Frame Cassette參數(shù):
材質(zhì):6061鋁型材
外形尺寸:68.8*59*197 mm
槽距:7 mm
槽間距:3 mm
起始位:13 mm
表面處理工藝:黑色噴砂氧化
配件有:底板、頂板、側板、不銹鋼拉手把
可根據(jù)要求定制非標款Wafer Frame Cassette