.jpg "高精密光刻機(jī)高精度光刻機(jī)")
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 米歇爾MICHELL | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 規(guī)格 | 2.5mm | ||
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
| 型號(hào) | URE-2000/25 | ||
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單面紫外光刻機(jī)
型號(hào)：URE-2000/25
簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；
5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；
7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量35mW/cm ，能量方便可調(diào)，溫度小于30度）；