| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 雷尼紹RENISHAW | ||
| 產(chǎn)品特性 | 真空下使用 | ||
| 分辨率 | 0.1UM | ||
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | ***/航天 | ||
| 種類 | 1000000486 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | UHV | ||
真空?(UHV)?光柵，真空光柵包括真空圓光柵和真空直線光柵尺，
UHV產(chǎn)品特征如下：
–?RESOLUTE?UHV是 適合在UHV環(huán)境下使用的值真空式光柵
–?由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低
–?殘余氣體分析?(RGA)?經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境
–?120?°C烘焙溫度
–?非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
–?具備工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達(dá)1?nm
–?電耗低、發(fā)熱小
–?無氣密孔
–?自適應(yīng)電路可提供 長期可靠性和低電子細(xì)分
誤差?(SDE)（RESOLUTE?UHV為±40?nm，TONiC?UHV為±30?nm，RGH25F?UHV和
RGH20F?UHV為±50?nm)
–?UHV兼容電纜
–?TONiC?UHV光柵具有光學(xué)參考零位
–? 直線光柵和圓光柵系列
RESOLUTE?UHV、TONiC?UHV、RGH25F
UHV和RGH20F?UHV讀數(shù)頭
雷尼紹 真空?(UHV)?兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過 設(shè)計，用于各種科學(xué)、半導(dǎo)體
和其他高級工業(yè)應(yīng)用場合，真空壓力達(dá)10-11?Torr。其基本工作原理與我們的同類標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的產(chǎn)
品相同，但是UHV光柵在設(shè)計上消除氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑 而成。產(chǎn)
品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨(dú)立的 檢驗站鑒定，包括殘留氣體分析?(RGA)?光譜測試。
該系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F讀數(shù)頭，以及各種直線光柵和圓光
柵，提供 的性能和高可靠性。
RESOLUTE?UHV采用真正意義上的式光柵工作原理，與RESOLUTE系列的其他產(chǎn)品相
同。因此光柵具備小柵距性能，并且安裝公差大，內(nèi)在安全性高。RESOLUTE開啟后立即確定
位置，減少非受控運(yùn)動，并且有助于執(zhí)行 軸命令，無需返回基準(zhǔn)位置或者“開啟并晃
動”。RESOLUTE的分辨率為1?nm，電子細(xì)分誤差?(SDE)?為±40?nm，RMS噪音<10?nm，同時也
幫助用戶 提
該系列中的所有增量式讀數(shù)頭都包含動態(tài)信號調(diào)整功能，其中自動增益控制?(AGC)?有助于長
時間內(nèi)獲取 的信號，而自動偏置量控制?(AOC)?則有助于提高信號保真度。AOC和光柵的
低位置噪聲也有助于降低直驅(qū)系統(tǒng)的速度波動，從而在程度上幫助減少真空條件下電機(jī)中積
聚的熱量。
通過直線測量標(biāo)準(zhǔn)確保了 ，其中包括自貼式鋼帶柵尺、不銹鋼和ZeroMet柵尺選項。圓
光柵選項包括輕薄小巧的RESR?/?RESM和超 的REXM圓柵， 度 優(yōu)于±1角秒。