3寸耐高溫晶圓盒用于晶圓切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤,其兩個(gè)側(cè)板、頂板、連桿、擋條采用6063-T5鋁型材經(jīng)過(guò)CNC精密加工和表面硬質(zhì)氧化處理,表面光滑無(wú)毛刺,堅(jiān)固耐用,外形美觀大方。同時(shí)配置不銹鋼旋轉(zhuǎn)檔桿可以更好的固定保護(hù)晶圓片。
產(chǎn)品參數(shù)
材質(zhì):6060-T5鋁型材
槽數(shù):25槽
尺寸:143*86*90 mm
表面處理:硬質(zhì)氧化
配件:側(cè)板*2、頂板*1、檔條*2、連桿*1、活動(dòng)檔條*1
用途:用于切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤