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產(chǎn)品簡介

$HMDS烘箱晶圓涂布箱涂膠預(yù)處理箱BD\/HMDS-6210運(yùn)行穩(wěn)定可非標(biāo)定值$

HMDS烘箱晶圓涂布箱涂膠預(yù)處理箱BD\/HMDS-6210運(yùn)行穩(wěn)定可非標(biāo)定值

產(chǎn)品價格：￥85000.00

上架日期：2024-07-13 01:14:27

產(chǎn)地：北京北京

發(fā)貨地：北京北京

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詳細(xì)說明

產(chǎn)品參數(shù)
HMDS烘箱晶圓涂布箱涂膠預(yù)處理箱 BD/HMDS-6210 運(yùn)行穩(wěn)定可非標(biāo)定值是否支持加工定制	是
是否進(jìn)口	否
操作方式	人機(jī)界面
測量對象	晶圓
電源	220V
適用范圍	半導(dǎo)體行業(yè)
容積	50L、90L、210L
真空泵	干式渦旋泵
溫度范圍	RT 10℃～200℃
溫度波動度	≤±1℃
溫度分辨率	0.1℃
真空度	100Pa～100000Pa
樣品架	2層、3層
氣源	氮?dú)?/span>
品牌	中科博達(dá)