| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Mycro | ||
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 溫度范圍 | 900℃ | ||
| 晶圓尺寸 | 2~12寸 | ||
| 熱電偶測(cè)溫點(diǎn)數(shù) | 1~20 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
產(chǎn)品特點(diǎn)（部分）
l 測(cè)溫準(zhǔn)確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測(cè)量晶圓溫廠均勻性；
l 使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測(cè)試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，
支持U盤、藍(lán)牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報(bào)告；
l 顯示直觀 最多支持20路實(shí)時(shí)測(cè)量(20路以上可定制)，顯示實(shí)時(shí)點(diǎn)位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實(shí)時(shí)觀察各點(diǎn)溫度變化；
l 功能強(qiáng)大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
可做同一臺(tái)設(shè)備不同時(shí)間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對(duì)比；
l 便攜易維護(hù) 便攜一體化設(shè)計(jì)，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。
應(yīng)用功能
l 半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校
l RTP設(shè)備的測(cè)試、驗(yàn)證
l TC-Wafer的測(cè)試、驗(yàn)證
l 相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設(shè) 備 的 測(cè) 試 、 驗(yàn) 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
