| 產品參數(shù) | |||
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二手日本 Nidek 晶片平坦度/翹曲度測量儀FT-17
Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體（如藍寶石晶片等）和LED外延晶片、芯片的檢測。
其應用不僅局限于對藍寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測，而且更多地應用于對外延之后，外延層表面品質、TTV等的檢測和評估。
在電腦顯示屏上，它可自動生成三維立體的表面彩色效果圖，以幫助人們清楚細微地、直觀地了解和掌握對象物表面層生長的情況。
此外，它也適用于液晶電視屏幕面板所需要的大而平的圖形掩膜的檢測。
詳情 楊經理 18103045976
? | FT-17 Series | FT-900 Series | ||||
無解析 無顯示 | 帶解析 | 帶解析 （V2規(guī)格） | 無解析 無顯示 | 帶解析 | 帶解析 （V2規(guī)格） | |
測定方法 | 光波干涉方式（斜入射） | |||||
光源 | 半導體激光（655nm、3mW） | He-Ne激光（632.3A、5mW） | ||||
樣本尺寸 | 直徑130mm以下 （平坦度測定100mm以下） | 直徑200mm以下 | ||||
樣本厚度 | 2000um以下（根據(jù)測量承載臺不同，最大可達10mm），其他厚度需客戶另行協(xié)商 | |||||
樣本種類 | Wafer（Si、化合物、酸化物、玻璃）、金屬片、硬盤（鋁、玻璃）等鏡面和非鏡面（反射率低的非鏡面不可測試） | |||||
樣本傾斜角度 | 垂直方向傾斜8度 | 垂直或垂直方向傾斜8度 | ||||
干涉計設定敏感度 | 1、2、3、4、5u/紋理（下底面基準時只有1、2um/紋理，且厚度1mm以上時1um/紋理） | |||||
測定范圍 | 紋理敏感度30倍（根據(jù)紋理狀況以及測試鏡頭倍率關系，有時不能達到30倍） | |||||
攝影鏡頭倍率 | 3倍以上 | |||||
顯示分解能 | ? | 0.01um | ? | 0.01um | ||
重復精度 Repeatability:1б | ? | 0.02S＋0.02M（um） 條件：樣本設定后連續(xù)測試 S：紋理敏感度 M：測定值 | ? | 0.02S＋0.02M（um） 條件：樣本設定后連續(xù)測試 S：紋理敏感度 M：測定值 | ||
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Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體（如藍寶石晶片等）和LED外延晶片、芯片的檢測。
其應用不僅局限于對藍寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測，而且更多地應用于對外延之后，外延層表面品質、TTV等的檢測和評估。
在電腦顯示屏上，它可自動生成三維立體的表面彩色效果圖，以幫助人們清楚細微地、直觀地了解和掌握對象物表面層生長的情況。
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該產品目前已在國內大手廠商中廣泛采用，特別是在外延片的品質檢測方面。頗受好評。
據(jù)不完全統(tǒng)計，至2012年底該產品已被國內LED襯底和外延片80多家廠家所使用。
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測試項目
吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID
非吸附：BOW、SORI、整體應力、局部應力
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可測試晶片種類
切割片、研磨片、拋光片、外延片、磊晶片
可選配光刻區(qū)域模擬軟件、應力分析軟件等
