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產(chǎn)品簡介
大面積紫外光刻機(jī)URE-2000D系列光刻機(jī)
大面積紫外光刻機(jī)URE-2000D系列光刻機(jī)
產(chǎn)品價(jià)格:¥300000.00
上架日期:2023-11-24 21:34:58
產(chǎn)地:上海上海
發(fā)貨地:上海上海
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌鑫有研

    一.技術(shù)特征

    用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。

    技術(shù)特點(diǎn):

    1、采用3500W直流高壓汞燈;

    2、 采用蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明;

    3、 實(shí)現(xiàn)超大面積光刻;   

    4、采用CCD自動(dòng)對準(zhǔn),自動(dòng)化程度高;

    5、性能可靠、操作方便。

    主要技術(shù)指標(biāo):

    1、 曝光面積:430 mm×430 mm; 

    2、分辨力:3μm;

    3、對準(zhǔn)精度:≤±1μm ;      

    4、掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;

    5、照明均勻性:±10(430 mm×430 mm范圍);

    6、掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度;

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