產(chǎn)品參數(shù) | |||
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中科博達 HMDS預處理真空烘箱 BD/HMDS-6090 半導體行業(yè) 控溫范圍 | RT 10~250℃ | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
溫度波動度 | ±1℃ | ||
電源電壓 | 220V/50HZ | ||
控制器 | 觸摸屏 PLC | ||
品牌 | 中科博達 | ||
內(nèi)形尺寸 | 450×450×450 | ||
達到真空度 | 小于133Pa | ||
真空度 | 100Pa~100000Pa | ||
定時范圍 | 1~9999S | ||
樣品架 | 2塊 | ||
工作室材料 | 316L | ||
真空泵 | 渦旋干泵(選配) | ||
真空抽速 | ≥3.5L/S | ||
真空分辨率 | 1Pa |