| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 宏誠(chéng) | ||
| 規(guī)格 | 1300mm | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 真空室 | SUS304 | ||
| φ1300mm×1610mm (H) | |||
| 蒸發(fā)源電子槍 | 2把 | ||
| 工件架 | φ1130 | ||
| 工件架轉(zhuǎn)速 | 10rpm to 50rpm(可變) | ||
| 光學(xué)膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A | ||
| 水晶式膜厚計(jì) | XTC/3 6點(diǎn)式水晶傳感器 | ||
| 離子源 | 17cmRF離子源 | ||
| 泵 | 排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個(gè)擴(kuò)散泵 Polycold或2個(gè)冷凝泵 | ||
| 基板溫度最高 | 350℃ | ||
| 排氣時(shí)間 | 15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa) | ||
| 設(shè)備尺寸 | 5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) | ||
| 電源 | 電源3相 | ||
| 200v | |||
| 50/60Hz | |||
| 約104KVA | |||
| 水流量 | 140升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa以上 | ||
| 重量約 | 8500kg | ||
| 可售賣(mài)地 | 全國(guó) | ||
| 型號(hào) | OTFC-1300 | ||
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