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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
單面紫外光刻機(jī),教學(xué)光刻機(jī)URE200017
單面紫外光刻機(jī),教學(xué)光刻機(jī)URE200017
產(chǎn)品價(jià)格:¥150000.00
上架日期:2023-10-11 00:29:21
產(chǎn)地:上海上海
發(fā)貨地:上海上海
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌鑫有研






    產(chǎn)品名稱:URE-2000/17型紫外光刻機(jī)
    主要技術(shù)指標(biāo):
    曝光面積:100mm×100mm
    分辨力:1.5μm(膠厚2μm的正膠);
    對(duì)準(zhǔn)精度:±1μm
    最大膠厚:
    掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
    樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);
    照明均勻性:±6(Ф100mm 范圍)
    汞燈功率:200W(直流)
    掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
    技術(shù)特點(diǎn):
    采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡對(duì)準(zhǔn);球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。

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