| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 天鉉 | ||
| 重量 | 0.17k | ||
| 功耗 | ＞1.2W | ||
| 防護(hù)等級 | 40 | ||
| 壓力范圍 | 6bar | ||
| 測量范圍 | 1000 | ||
| 分辨率 | 16bit | ||
| 工作溫度 | -40℃-75℃ | ||
| 原理 | 皮拉尼 | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | 100ms | ||
| 數(shù)量 | 6541852 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
我們的解決方案包括氣體和流量控制器、汽化、自動補(bǔ)液、氣體發(fā)生器、超純水監(jiān)測儀和化學(xué)濃度監(jiān)測儀。流體控制
HORIBA 擁有多種產(chǎn)品以您的流體測量和控制要求。
在各種制造和研究實(shí)驗(yàn)室中，我們提供氣體和的測量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量計(jì)、流量控制器、自動壓力控制器和汽化的，用于整個(gè)半導(dǎo)體制造行業(yè)。
流量控制
D500
壓力控制
GR-200
液源汽化
壓力控制
HORIBA 提供多種壓力控制產(chǎn)品，用于監(jiān)測、調(diào)節(jié)或控制供氣管線中的壓力。
HORIBA 壓力控制產(chǎn)品包括數(shù)字高性能壓力傳感器和壓電閥。它們可以幫助由切換高流量管線引起的串?dāng)_影響。
HORIBA 晶圓冷卻使用氦氣來熱損傷，我們的排氣壓力控制器可保持腔室中的壓力水平一致。DZ-100
DZ-100 超薄流量控制器
超薄流量控制器
DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術(shù)——一種用于層流粘性流量范圍的壓差檢測。這種創(chuàng)新技術(shù)可以高精度地控制各種氣體的流量。與 D500 一樣，用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC的緊湊設(shè)計(jì)了內(nèi)部氣體流路的內(nèi)部體積，的控制算法了響應(yīng)特性。它采用具有高處理能力的緊湊型 CPU，壓電驅(qū)動電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中，而電源組件則安裝在單獨(dú)的小型控制箱中。通過將它們與專用微型連接器連接，多可以控制四個(gè) MFC 模塊。
細(xì)分市場：半導(dǎo)體
部門：流體控制
制造公司：HORIBA STEC, Co Ltd.
緊湊的自加熱設(shè)計(jì)
創(chuàng)新電極結(jié)構(gòu)帶來的高性能和高性
鎳合金隔膜具有優(yōu)異的耐腐蝕性
設(shè)定點(diǎn)輸出（2點(diǎn)）
輸出
通過專用進(jìn)行量程
一鍵歸零
電源要求 /-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS
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