| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 中科博達(dá) HMDS預(yù)處理真空烘箱 BD/HMDS-6090 半導(dǎo)體行業(yè) 控溫范圍 | RT 10～250℃ | ||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
| 溫度波動(dòng)度 | ±1℃ | ||
| 電源電壓 | 220V/50HZ | ||
| 控制器 | 觸摸屏 PLC | ||
| 品牌 | 中科博達(dá) | ||
| 內(nèi)形尺寸 | 450×450×450 | ||
| 達(dá)到真空度 | 小于133Pa | ||
| 真空度 | 100Pa～100000Pa | ||
| 定時(shí)范圍 | 1～9999S | ||
| 樣品架 | 2塊 | ||
| 工作室材料 | 316L | ||
| 真空泵 | 渦旋干泵（選配） | ||
| 真空抽速 | ≥3.5L/S | ||
| 真空分辨率 | 1Pa | ||
