| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | PIE | ||
| 產(chǎn)品特性 | 石英腔體 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 上海 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 產(chǎn)品用途 | 表面清洗 | ||
| 產(chǎn)品別名 | 表面鍵合機(jī) | ||
| 外形尺寸 | 471mm*380mm*478mm | ||
| 重量 | 35kg | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 平面前處理線 | ||
| 型號 | TergeoPRO | ||
Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機(jī)
Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統(tǒng)不僅可以調(diào)整射頻功率，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從 調(diào)整到小于 1。夸脫室壁結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設(shè)計。
以下是典型應(yīng)用案例：
光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；
在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；
生物醫(yī)用涂層前表面處理，提高醫(yī)用植入物的親水性；
環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；
PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室；
改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合；
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合；
Tergeo Pro等離子清洗機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.大型樣品室
針對大尺寸基片而研發(fā)設(shè)計，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。
2.等離子傳感器
可實(shí)時監(jiān)測等離子狀態(tài)，并為用戶提供不同配方條件下等離子強(qiáng)度的定量反饋，實(shí)時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測等離子灰化過程的進(jìn)程并用作終點(diǎn)指示器。
3.連續(xù)或脈沖等離子
脈沖比可以從 調(diào)整到小于1。改變等離子體強(qiáng)度超過幾個數(shù)量級。
4 的過程控制功能
壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強(qiáng)度傳感器、自動阻抗匹配。
Tergeo Pro等離子清洗機(jī)的技術(shù)參數(shù)：
艙體大小 | 內(nèi)徑230mm，外徑240mm，深度340mm，可容納一個8英寸晶圓， 一個或兩個?25片/50片?6"/4"晶圓的石英舟 |
艙體材質(zhì) | 標(biāo)配為高純度圓柱形石英艙 |
樣品架 | 5mm厚高純石英板，尺寸寬度220mm?x?長度280mm |
常用氣體 | 空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮?dú)夂推渌旌蠚怏w |
氣路控制 | 標(biāo)配兩路MFC 多可選配三路MFC，0~100sccm之間 控制氣體流量 |
控制系統(tǒng) | 7英寸電阻觸摸屏操作界面 |
程序控制 | 可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟 |
射頻頻率 | 13.56MHz |
射頻功率 | 標(biāo)配0~150W，以1瓦間隔連續(xù)可調(diào)，自動阻抗匹配；可選配300W或500W |
等離子源 | 等離子強(qiáng)度探測器實(shí)時定量檢測等離子狀態(tài)；電阻耦合電離方式? |
電極設(shè)計 | 外置電極設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積， 高壓電極不和等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染 |
設(shè)備電源 | 220?V/50Hz |
