| 產品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Laurell | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 操作方式 | 智能程控 | ||
| 轉速范圍 | 0-12000rpm | ||
| 加速度范圍 | 0-12000rpm | ||
| 工藝時間 | 1-5999.9 sec/step | ||
| 存儲程序 | 20條 | ||
| 程序步驟 | 51步 | ||
| 轉速分辨率 | 1rpm | ||
| 處理基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔體材質 | NPP聚丙烯 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | WS-650Mz-23NPPB | ||
一、勻膠機簡介：????
????鈣鈦礦太陽能電池/有機太陽電池制備涂膜工藝行業(yè)內首選Laurell勻膠機Spin Coater，從1985年開始，30多年行業(yè)領導者，全球用戶超百萬！廣發(fā)應用于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備，現(xiàn)當前風靡世界的型號WS-650-23B勻膠機，在全球任何一個著名的實驗室可找到！洛桑聯(lián)邦理工學院（EPFL）Michael Gr?tzel教授課題組使用的就是Laurell勻膠機WS-650-23B。
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應用領域：
? 鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
? 有機光伏OPV
? 有機發(fā)光二極管OLED
? 有機場效應晶體管&薄膜晶體管OFET & TFT
? 石墨烯&二維材料Graphene &2D
二、勻膠機產品特點:??
1、穩(wěn)定的轉速和快速的啟動，可保證膠厚度的一致性和均勻性；
2、轉速在12000轉/分范圍內非常穩(wěn)定，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過；
3、采用PLC控制，速度無極調節(jié)，在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開，然后自動變到高速運轉，步驟轉速及相應的時間分別可調；??
4、數(shù)據(jù)模擬：勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數(shù)值輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)會據(jù)此計算出最佳的速度設定方案，帶有速度隨時間變化的曲線；
5、數(shù)據(jù)記錄：為了提高實驗的可重復性，設備會在數(shù)據(jù)記錄模式下，實時記錄下前一次工藝過程的實驗實際值，并將該組數(shù)據(jù)存儲并重復調用，達到近乎完全一致的可重復性；
6、NPP材質耐腐蝕及抗震；
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三、勻膠機技術參數(shù)：
1、腔體尺寸：9.5英寸?(241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；
3、轉動速度：0-12,000rpm；?
4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；
5、馬達旋涂轉速：穩(wěn)定性能誤差<±1；
6、轉速調節(jié)精度 lt;0.2rpm，重復性< 0.2rpm；
7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006；
10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！
12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14、原裝進口水平測試儀；
可選配置：
IND構造為濕站系統(tǒng)設計，帶遠程控制；
OND構造為手套箱系統(tǒng)設計，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置；
UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；
EBR晶圓去邊，機械裝置；
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