| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Laurell | ||
| 是否進(jìn)口 | 是 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 產(chǎn)品適用范圍 | 150mm | ||
| 電源 | 220V | ||
| 工作電壓 | 300V | ||
| 重量 | 15kg | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 12000rpm | ||
| 轉(zhuǎn)速精度 | 1rpm | ||
| 基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔體材質(zhì) | 聚丙烯 | ||
| 連接方式 | 藍(lán)牙 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號(hào) | WS-650Mz-23NPPB | ||
勻膠機(jī)(英文名：Spin?Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜?
詳細(xì)介紹：勻膠機(jī)(英文名：Spin?Coater&?Spin?Processor)?
行業(yè)俗稱：勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)
一、產(chǎn)品概述：
????勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以 半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S?型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。二、勻膠機(jī)工作原理：
勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB（spin?coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。三、勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB主要性能指標(biāo)：
1、腔體尺寸：9.5英寸?(241?毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）；
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-12,000rpm，?
4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec；
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差?<?±1；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 lt;1rpm，重復(fù)性<?0.2rpm；
7、工藝時(shí)間設(shè)定：1-5999.9?sec/step?0.1?精度；
8、勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
9 數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006。
10、程序控制：可存儲(chǔ)20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于1轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±1轉(zhuǎn)/分，美 準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]
12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14 水平測(cè)試儀；??
可選配置：
IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì)，帶遠(yuǎn)程控制；
OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)，帶遠(yuǎn)程控制；
UD自動(dòng)滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，
EBR(Edge?Bead?Remover)：晶圓去邊，機(jī)械裝置；
http://www.mycrohk.com/spinprocessor
