| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 二手日本光弛OTFC-1550CBI/DBI 雙電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) 包保修上門安裝 品牌 | 光弛 | ||
| 重量 | 約10000kgkg | ||
| 真空室 | SUS304 | ||
| φ1550mm×1800mm (H) | |||
| 工件架 | φ1400mm | ||
| 工件轉(zhuǎn)速 | 10rpm to 30rpm(可變) | ||
| 光學(xué)膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 | ||
| 波長(zhǎng)范圍 | 350nm to 1100nm | ||
| 水晶式膜厚計(jì) | XTC/3 6點(diǎn)式水晶傳感器 | ||
| 離子源 | 17cmRF離子源 | ||
| 電子槍 | 2套 | ||
| 達(dá)到壓力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排氣時(shí)間 | 15分（大氣壓～1.3×10-3?Pa) | ||
| 基板溫度 | 最高：350℃ | ||
| 設(shè)備尺寸 | 約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H) | ||
| 電流量 | 180升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa以上 | ||
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
