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    采用低溫等離子體等離子體技術(shù)處理污染物的基本原理是：介質(zhì)放電產(chǎn)生大量的高能量電子轟擊污染物分子，使之電離、解離和激發(fā)；隨后引發(fā)一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，將復(fù)雜的大分子污染物轉(zhuǎn)化為簡單的小分子安全物質(zhì)，或?qū)⒂卸居泻ξ镔|(zhì)轉(zhuǎn)化為無毒或低毒低害物質(zhì)，使污染物降解去除。應(yīng)用低溫等離子體技術(shù)處理大氣中的低濃度污染氣體具有很高的處理效率，是一種性價比非常高的效率處理技術(shù)。
    本發(fā)明具有效率高，成本低，設(shè)備適應(yīng)性強(qiáng)，占地面積小，操作方便，開停方便，與噴漆工藝同步化，可根據(jù)污染源強(qiáng)度和排放要求進(jìn)行升級等特點(diǎn)。等離子體技術(shù)作為環(huán)境污染治理領(lǐng)域的一項(xiàng)具有巨大潛力的高新技術(shù)，已引起國內(nèi)外相關(guān)學(xué)科的高度重視。
    單一等離子體處理有機(jī)廢氣效率高、副產(chǎn)物少，不會造成二次污染，但其能耗高、能效低是目前需要解決的問題，等離子體復(fù)合光催化技術(shù)可以彌補(bǔ)這一不足。等離子體催化劑選擇了TiO2，它是一種半導(dǎo)體化合物，它只被吸收一個較短的太陽光，并激發(fā)它的活性，因此在設(shè)計反應(yīng)裝置時需要加入一個紫外光源。