石家莊設(shè)計(jì)半導(dǎo)體廠廢氣治理方案
A、工藝介紹
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、多種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體，在放電的過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物的原理是利用這些高能電子、自由基等活性粒子的協(xié)同作用下，轟擊廢氣污染物分子，使其電離、解離、激發(fā)，從大分子污染物轉(zhuǎn)變成小分子安全物質(zhì)，并發(fā)生后續(xù)的多種物理、化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。
B、該類工藝主要流程圖如下所示：
C、低溫等離子工藝裝置性能特點(diǎn)及應(yīng)用：
低溫等離子裝置依靠高壓放電產(chǎn)生包括電子、離子、自由基等在內(nèi)的多種高能粒子，這些高能粒子與廢氣中的污染物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。高壓放電產(chǎn)生的高能粒子能量高、數(shù)量多，對(duì)污染物的脫除具有廣譜性，可以與廢氣中幾乎所有的污染物發(fā)生反應(yīng)，達(dá)到凈化廢氣的目的，相比于其他工藝具有自身獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。
低溫等離子工藝主要適用于制藥、印染、制造、化工、化纖等行業(yè)，這些行業(yè)的工廠在運(yùn)作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）。還可應(yīng)用于包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、電子設(shè)備制造、家電制造、計(jì)算機(jī)制造、手機(jī)制造、生物材料、衛(wèi)生材料、醫(yī)療器皿、殺菌消毒、環(huán)保設(shè)備、石油天然氣管道、供暖管道、化工、半導(dǎo)體、航空航天等行業(yè)中。
