電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種,組分復(fù)雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。一般來說,廢氣排放中風(fēng)量較大,VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn),電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
(1)預(yù)處理階段:一般采用噴淋塔先對廢氣進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。
這幾種方式各有優(yōu)劣,根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況,在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。
(1)活性炭濃縮
(2)蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)(RCO)
文章來源:東莞市中仁環(huán)??萍加邢薰?/span>
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